Автор: Родионов Юрий Анатольевич
Основное заглавие: Литография в производстве интегральных микросхем
Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для учащихся ПТУ
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1998
Место издания: Минск
Издательство: ДизайнПРО
Объем: 95,(1) с.
ISBN: 985-6182-64-6
Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Литография;
ББК: 32.844.15-06
Библиография: Библиогр.: с. 95
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2463726 | кх | Доступна | - |