Основное заглавие: Проблемы автоматизации и надежности оборудования в электронной технике

Сведения, относящ. к заглавию: [сборник статей]

Ответственность: под ред. Н. И. Камышного

Физический носитель: текст

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: МВТУ

Объем: 143 с.

Серия: Труды МВТУ имени Н. Э. Баумана

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Оборудование; Электровакуумное производство

ББК: 32.852-06

Библиография: Списки лит. в конце статей