Основное заглавие: Проблемы автоматизации и надежности оборудования в электронной технике

Сведения, относящ. к заглавию: [сборник статей]

Ответственность: под ред. [и с вступ. ст.] Н. И. Камышного

Физический носитель: текст

Год публикации: 1980

Место издания: Москва

Издательство: МВТУ

Объем: 145 с.

Cерия: Труды МВТУ имени Н. Э. Баумана

Примечание: 150 лет МВТУ

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Оборудование; Электровакуумное производство;

ББК: 32.85я54

Библиография: Библиогр. в конце статей