Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС — Самарская областная универсальная научная библиотека

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС [текст] : (учебное пособие) / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев ; под общ. ред. М. А. Ревелевой ; Моск. ин-т электрон. техники. - Москва : МИЭТ, 1977 (вып. дан. 1978). - 129 с. : ил. - Библиогр.: с. 126 (14 назв.).

Основное заглавие: Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС

Сведения, относящ. к заглавию: (учебное пособие)

Ответственность: В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев ; под общ. ред. М. А. Ревелевой ; Моск. ин-т электрон. техники

Физический носитель: текст

Год публикации: 1977 (вып. дан. 1978)

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 129 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство

ББК: 32.844.15-06Я7

Библиография: Библиогр.: с. 126 (14 назв.)