Оснoвные прoцессы планарнoй технoлoгии кремниевых ИПС [текст] : (учебное пособие) / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев ; под общ. ред. М. А. Ревелевой ; Моск. ин-т электрон. техники. - Москва : МИЭТ, 1977 (вып. дан. 1978). - 129 с. : ил. - Библиогр.: с. 126 (14 назв.).



Основное заглавие: Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС

Сведения, относящ. к заглавию: (учебное пособие)

Ответственность: В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев ; под общ. ред. М. А. Ревелевой ; Моск. ин-т электрон. техники

Физический носитель: текст

Год публикации: 1977 (вып. дан. 1978)

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 129 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство;

ББК: 32.844.15-06Я7

Библиография: Библиогр.: с. 126 (14 назв.)

1864233
 
Оснoвные прoцессы планарнoй технoлoгии кремниевых ИПС [текст] : (учебное пособие) / В. М. Глазов, Л. В. Гурская, В. В. Игнатьев, М. А. Королев ; под общ. ред. М. А. Ревелевой ; Моск. ин-т электрон. техники. - Москва : МИЭТ, 1977 (вып. дан. 1978). - 129 с. : ил. - Библиогр.: с. 126 (14 назв.).
ББК 32.844.15-06Я7
1864233-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1864233 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера