Окисление, диффузия, эпитаксия [текст] : перевод с английского / под ред. Р. Бургера и Р. Донована ; под ред. В. Н. Мордковича и Ф. П. Пресса. - Москва : Мир, 1969. - 451 с. - (Основы технологии кремниевых интегральных схем).



Основное заглавие: Окисление, диффузия, эпитаксия

Сведения, относящ. к заглавию: перевод с английского

Ответственность: под ред. Р. Бургера и Р. Донована ; под ред. В. Н. Мордковича и Ф. П. Пресса

Физический носитель: текст

Год публикации: 1969

Место издания: Москва

Издательство: Мир

Объем: 451 с.

Cерия: Основы технологии кремниевых интегральных схем

Ключевые слова: Окисление; Диффузия; Эпитаксия; Интегральные схемы; Кремний;

ББК: 32.844.15-06

1447286
 
Окисление, диффузия, эпитаксия [текст] : перевод с английского / под ред. Р. Бургера и Р. Донована ; под ред. В. Н. Мордковича и Ф. П. Пресса. - Москва : Мир, 1969. - 451 с. - (Основы технологии кремниевых интегральных схем).
ББК 32.844.15-06
1447286-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1447286 кх Доступна -