Основное заглавие: Окисление, диффузия, эпитаксия
Сведения, относящ. к заглавию: перевод с английского
Ответственность: под ред. Р. Бургера и Р. Донована ; под ред. В. Н. Мордковича и Ф. П. Пресса
Физический носитель: текст
Год публикации: 1969
Место издания: Москва
Издательство: Мир
Объем: 451 с.
Cерия: Основы технологии кремниевых интегральных схем
Ключевые слова: Окисление; Диффузия; Эпитаксия; Интегральные схемы; Кремний;
ББК: 32.844.15-06
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1447286 | кх | Доступна | - |
При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера