Основное заглавие: Окисление, диффузия, эпитаксия
Сведения, относящ. к заглавию: перевод с английского
Ответственность: под ред. Р. Бургера и Р. Донована ; под ред. В. Н. Мордковича и Ф. П. Пресса
Физический носитель: текст
Год публикации: 1969
Место издания: Москва
Издательство: Мир
Объем: 451 с.
Серия: Основы технологии кремниевых интегральных схем
Ключевые слова: Окисление; Диффузия; Эпитаксия; Интегральные схемы; Кремний
ББК: 32.844.15-06
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.