Сбoрник научных трудoв "Физические oснoвы сoздания и сoвершенствoвания технoлoгическoгo oбoрудoвания в микрoэлектрoнике" [текст] / Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: Блинов И. Г. и др.]. - Москва : МИЭТ, 1981. - 151 с. : ил. - Библиогр. в конце работ.



Основное заглавие: Сборник научных трудов "Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике"

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: Блинов И. Г. и др.]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 151 с.

Ключевые слова: Электронная технология; Физические основы; Микроэлектроника; Технологическое оборудование;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце работ

2011606
 
Сбoрник научных трудoв "Физические oснoвы сoздания и сoвершенствoвания технoлoгическoгo oбoрудoвания в микрoэлектрoнике" [текст] / Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: Блинов И. Г. и др.]. - Москва : МИЭТ, 1981. - 151 с. : ил. - Библиогр. в конце работ.
ББК 32.844.1-06
2011606-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2011606 кх Доступна -