Основное заглавие: Сборник научных трудов "Физика микроэлектронных приборов"

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: Т. Д. Шермергор и др.]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: МИЭТ

Объем: 96 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Физические основы; Физика; Микроэлектронные приборы;

ББК: 32.844.1я43

Библиография: Библиогр. в конце работ