Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков — Самарская областная универсальная научная библиотека

Осипов, Кирилл Афанасьевич.

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков [текст] / Осипов Кирилл Афанасьевич, Фолманис Гундар Эдуардович - Москва : Наука, 1973. - 87 с. : черт. - Список лит.: с. 82-85 (116 назв.).

Автор: Осипов Кирилл Афанасьевич

Другие авторы: Фолманис Гундар Эдуардович

Основное заглавие: Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков

Физический носитель: текст

Год публикации: 1973

Место издания: Москва

Издательство: Наука

Объем: 87 с.

Ключевые слова: Тонкие пленки; Пленки

ББК: 22.36

Библиография: Список лит.: с. 82-85 (116 назв.)