Основное заглавие: Осаждение из газовой фазы

Ответственность: под ред. К. Пауэлла [и др.] ; сокр. пер. с англ. М. И. Юрченко

Физический носитель: текст

Год публикации: 1970

Место издания: Москва

Издательство: Атомиздат

Объем: 472 с.

Примечание: В содерж. авт.: Дж. Блочер мл., А. Лунэм, Дж. Детторр и др.

Ключевые слова: Газовые фазы; Осаждение;

ББК: 35.113.5

Библиография: Библиогр. в конце глав