Автор: Мягков Алексей Тихонович

Другие авторы: Корсетов Евгений Михайлович

Основное заглавие: Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники

Физический носитель: текст

Год публикации: 1979

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 312 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство; Оборудование;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 305-310 (122 назв.)