Основное заглавие: Нитрид кремния в электронике

Ответственность: [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики и полупроводников, Ин-т неорган. химии

Физический носитель: текст

Год публикации: 1982

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 200 с.

Примечание: Авт. указаны на обороте тит. л.

Ключевые слова: Кремний; Нитриды; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)