Нитрид кремния в электрoнике [текст] / [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики и полупроводников, Ин-т неорган. химии. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1982. - 200 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.).



Основное заглавие: Нитрид кремния в электронике

Ответственность: [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики и полупроводников, Ин-т неорган. химии

Физический носитель: текст

Год публикации: 1982

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 200 с.

Примечание: Авт. указаны на обороте тит. л.

Ключевые слова: Кремний; Нитриды; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)

2013566
 
Нитрид кремния в электрoнике [текст] / [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.] ; отв. ред. А. В. Ржанов ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики и полупроводников, Ин-т неорган. химии. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1982. - 200 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.).
ББК 32.844.15
2013566-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2013566 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера