Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства — Самарская областная универсальная научная библиотека

Моряков, Олег Сергеевич.

Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [текст] : [учебник для средних профессионально-технических училищ] / Моряков Олег Сергеевич - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1981. - 336 с. : ил. - (Профтехобразование. Полупроводники). - Библиогр.: с. 334 (9 назв.).

Автор: Моряков Олег Сергеевич

Основное заглавие: Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства

Сведения, относящ. к заглавию: [учебник для средних профессионально-технических училищ]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 336 с.

Серия: Профтехобразование

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Оборудование

ББК: 32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 334 (9 назв.)