Автор: Миттова Ирина Яковлевна
Основное заглавие: Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
Физический носитель: текст
Год публикации: 1987
Место издания: Воронеж
Издательство: Изд-во Воронежского университета
Объем: 195, [3] с.
Ключевые слова: Кремний; Термическое окисление; Примеси;
ББК: 24.124.2
Библиография: Библиогр.: с. 188-196 (170 назв.)
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2224579 | кх | Доступна | - |