Метoды кoнтрoля нарушенных слoев при механическoй oбрабoтке мoнoкристаллoв [текст] / [А. И. Татаренков, К. Л. Енишерлова, Т. Ф. Русак, В. Н. Гриднев]. - Москва : Энергия, 1978. - 64 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып. 13). - Список лит.: с. 59-63 (70 назв.).



Основное заглавие: Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов

Ответственность: [А. И. Татаренков, К. Л. Енишерлова, Т. Ф. Русак, В. Н. Гриднев]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 64 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Полупроводники; Обработка; Технический контроль; Монокристаллы;

ББК: 32.843.3

Библиография: Список лит.: с. 59-63 (70 назв.)

1862420
 
Метoды кoнтрoля нарушенных слoев при механическoй oбрабoтке мoнoкристаллoв [текст] / [А. И. Татаренков, К. Л. Енишерлова, Т. Ф. Русак, В. Н. Гриднев]. - Москва : Энергия, 1978. - 64 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; Вып. 13). - Список лит.: с. 59-63 (70 назв.).
ББК 32.843.3
1862420-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1862420 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера