Автор: Мейер Дж.

Другие авторы: Эриксон Л.; Дэвис Дж.

Основное заглавие: Ионное легирование полупроводников

Сведения, относящ. к заглавию: (кремний и германий) : перевод с английского

Ответственность: под ред. В. М. Гусева

Физический носитель: текст

Год публикации: 1973

Место издания: Москва

Издательство: Мир

Объем: 296 с.

Примечание: Перед загл. авт.: Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Дэвис; Доп. тит. л.: Ion implantation in semiconductors. James W. Mayer, Lennart Eriksson, John A. Davis

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Список лит.: с. 288-296 (335 назв.)