Некоторые проблемы физики и химии поверхности полупроводников [текст] : [сборник статей] / под ред. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1972. - 250 с. : черт. - Библиогр. работ по пленкам нитрида кремния на полупроводниках: с. 234-248 и списки лит. в конце статей.

Основное заглавие: Некоторые проблемы физики и химии поверхности полупроводников

Сведения, относящ. к заглавию: [сборник статей]

Ответственность: под ред. А. В. Ржанова

Физический носитель: текст

Год публикации: 1972

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 250 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Поверхностные свойства

ББК: 22.379.2я43

Библиография: Библиогр. работ по пленкам нитрида кремния на полупроводниках: с. 234-248 и списки лит. в конце статей