Технология изготовления гибридно-пленочных интегральных микроузлов — Самарская областная универсальная научная библиотека

Обичкин, Юрий Геннадиевич.

Технология изготовления гибридно-пленочных интегральных микроузлов [текст] / Обичкин Юрий Геннадиевич, Калугин Анатолий Михайлович - Москва : Машиностроение, 1972. - 80 с. : черт. - Список лит.: с. 79 (8 назв.).

Автор: Обичкин Юрий Геннадиевич

Другие авторы: Калугин Анатолий Михайлович

Основное заглавие: Технология изготовления гибридно-пленочных интегральных микроузлов

Физический носитель: текст

Год публикации: 1972

Место издания: Москва

Издательство: Машиностроение

Объем: 80 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство

ББК: 32.844.15-06+32.844.13

Библиография: Список лит.: с. 79 (8 назв.)