Основное заглавие: Монтаж и наладка испытательного оборудования полупроводникового производства

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для профессионально-технических учебных заведений]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1973

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 334 с.

Cерия: Профтехобразование

Примечание: В вып. дан. авт.: А. А. Бухман, А. А. Шокальский, С. А. Сальников, Г. Б. Корневич

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Испытания; Оборудование;

ББК: 621.382.002+32.852-06я7

Библиография: Список лит.: с. 331 (8 назв.)