Миколайчук, Алексей Гордеевич.
Физико-технологические основы синтеза полупроводниковых пленок [текст] : (пособие для студентов физических факультетов) / Миколайчук Алексей Гордеевич, Фрейк Дмитрий Михайлович, Шперун Владимир Михайлович ; Львов. гос. ун-т им. Ивана Франко. - Львов : Вища школа. Изд-во при Львовском университете, [б. г.]. - 112 с. : ил. - Библиогр.: с. 105-110 (61 назв.).

Автор: Миколайчук Алексей Гордеевич

Другие авторы: Фрейк Дмитрий Михайлович; Шперун Владимир Михайлович

Основное заглавие: Физико-технологические основы синтеза полупроводниковых пленок

Сведения, относящ. к заглавию: (пособие для студентов физических факультетов)

Ответственность: Львов. гос. ун-т им. Ивана Франко

Физический носитель: текст

Год публикации: [б. г.]

Место издания: Львов

Издательство: Вища школа. Изд-во при Львовском университете

Объем: 112 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые пленки; Пленки

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 105-110 (61 назв.)