Управление технологическими процессами при производстве ИС — Самарская областная универсальная научная библиотека

Медведев, Юрий Павлович.

Управление технологическими процессами при производстве ИС [текст] / Медведев Юрий Павлович, Синекоп Юрий Степанович, Коц Александр Павлович - Киев : Общество "Знание" УССР, 1981. - 19 с. : ил. - (Библиотечка "Проблемы интегральной электроники"). - Библиогр.: с. 19 (5 назв.).

Автор: Медведев Юрий Павлович

Другие авторы: Синекоп Юрий Степанович; Коц Александр Павлович

Основное заглавие: Управление технологическими процессами при производстве ИС

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Киев

Издательство: Общество "Знание" УССР

Объем: 19 с.

Серия: Библиотечка "Проблемы интегральной электроники"

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Микроэлектронные интегральные схемы; Производство

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 19 (5 назв.)