Маслов, Вадим Николаевич.
Репродукционная эпитаксия [текст] / Маслов Вадим Николаевич - Москва : Металлургия, 1981. - 187 с. : ил. - Библиогр.: с. 181-186 (205 назв.).

Автор: Маслов Вадим Николаевич

Основное заглавие: Репродукционная эпитаксия

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: Металлургия

Объем: 187 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые пленки

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 181-186 (205 назв.)