Лазеры в технологии изготовления тонкопленочных микросхем — Самарская областная универсальная научная библиотека

Марковский, В. Н.

Лазеры в технологии изготовления тонкопленочных микросхем [текст] / Марковский В. Н., Таипов Р. А. - Ленинград : [б. и.], 1968. - 37 с. : черт. - (Приборы и устройства радиоэлектронной техники и автоматики).

Автор: Марковский В. Н.

Другие авторы: Таипов Р. А.

Основное заглавие: Лазеры в технологии изготовления тонкопленочных микросхем

Физический носитель: текст

Год публикации: 1968

Место издания: Ленинград

Издательство: [б. и.]

Объем: 37 с.

Серия: Приборы и устройства радиоэлектронной техники и автоматики

Ключевые слова: Лазеры; Микросхемы

ББК: 32.844.13