Основное заглавие: Легирование полупроводников ионным внедрением
Сведения, относящ. к заглавию: сборник статей : перевод
Ответственность: под ред. В. С. Вавилова и В. М. Гусева
Физический носитель: текст
Год публикации: 1971
Место издания: Москва
Издательство: Мир
Объем: 531 с.
Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование
ББК: 32.843.3-06
Библиография: Библиогр. в конце разделов
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.