Основное заглавие: Легирование полупроводников ионным внедрением
Сведения, относящ. к заглавию: сборник статей : перевод
Ответственность: под ред. В. С. Вавилова и В. М. Гусева
Физический носитель: текст
Год публикации: 1971
Место издания: Москва
Издательство: Мир
Объем: 531 с.
Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование;
ББК: 32.843.3-06
Библиография: Библиогр. в конце разделов
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1527826 | кх | Доступна | - |