Автор: Крапухин Всеволод Валерьевич
Другие авторы: Соколов Игорь Александрович; Кузнецов Геннадий Дмитриевич
Основное заглавие: Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов
Сведения, относящ. к заглавию: [учебник для вузов по специальности "Технология специальных материалов электронной техники"]
Год публикации: 1982
Место издания: Москва
Издательство: Металлургия
Объем: 352 с.
Ключевые слова: Полупроводники; Производство; Физико-химические основы; Полупроводниковые материалы;
ББК: 32.843.3-06
Библиография: Библиогр.: с. 351-352
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2061061 | кх | Доступна | - |