Автор: Котенко Георгий Иванович

Основное заглавие: Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов

Сведения, относящ. к заглавию: лекции

Ответственность: Ленинградский институт авиационного приборостроения

Год публикации: 1979

Место издания: Ленинград

Издательство: Ленинградский электротехнический институт

Объем: 59 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Тонкие пленки; Производство;

ББК: 32.844.15-06я7+32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 58 (7 назв.)