Валиев, Камиль Ахметович. 
Физические oснoвы субмикрoннoй литoграфии в микрoэлектрoнике [Текст] / Валиев Камиль Ахметович - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347.



Автор: Валиев Камиль Ахметович

Другие авторы: Раков Александр Васильевич

Основное заглавие: Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1984

Место издания: Москва

Издательство: Радио и связь

Объем: 350 с.

Ключевые слова: Фотолитография; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 338-347

2122231
Валиев, Камиль Ахметович. 
Физические oснoвы субмикрoннoй литoграфии в микрoэлектрoнике [Текст] / Валиев Камиль Ахметович - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347.
ББК 32.844.15-06
2122231-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2122231 кх Доступна -