Основное заглавие: Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники

Ответственность: М-во электронной пром-сти СССР ; авт.: Блинова И. Г., Дороднов А. М., Минайчев В. Е. [и др.]

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Физические основы

Год публикации: 1975

Место издания: Москва

Издательство: ЦНИИ "Электроника"

Объем: 84 с.

Cерия: Обзоры по электронной технике

Ключевые слова: Микроэлектроника; Технологическое оборудование;

ББК: 32.844-06