Основное заглавие: Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок

Ответственность: Блинов И. Г., Ельчанинов Е. И., Мелехин Ю. Я., Панкратов Л. М.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1969

Место издания: Москва

Издательство: Электроника

Объем: 108 с.

Серия: Справочные материалы по электронной технике

Ключевые слова: Тонкие пленки; Вакуумные покрытия; Вакуумная техника

ББК: 32.844.13