Автор: Парфенова Елена Леонидовна

Другие авторы: Терентьева Л. А.; Хусаинов М. Г.

Основное заглавие: Физические основы микро- и наноэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: учебное пособие

Физический носитель: Текст

Год публикации: 2012

Место издания: Ростов-на-Дону

Издательство: Феникс

Объем: 234, [2] с.

ISBN: 978-5-222-19617-5

Cерия: Высшее образование

Ключевые слова: Микроэлектроника; Наноэлектроника; Физические основы;

ББК: 32.844.1я7

Библиография: Библиогр.: с. 231