Гранкин, Илья Михайлович. 
Высoкoразрешающая неoрганическая фoтoлитoграфия [Текст] / Гранкин Илья Михайлович, Коломейко А. В.; Погребняк В. П. - Киев : Вища школа, Изд-во при Киевском университете, 1983. - 53 с. : ил. - (Ученые вузов - производству). - Библиогр.: с. 49-52.



Автор: Гранкин Илья Михайлович

Другие авторы: Коломейко А. В.; Погребняк В. П.

Основное заглавие: Высокоразрешающая неорганическая фотолитография

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1983

Место издания: Киев

Издательство: Вища школа, Изд-во при Киевском университете

Объем: 53 с.

Cерия: Ученые вузов - производству

Ключевые слова: Фотолитография; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 49-52

2062842
Гранкин, Илья Михайлович. 
Высoкoразрешающая неoрганическая фoтoлитoграфия [Текст] / Гранкин Илья Михайлович, Коломейко А. В.; Погребняк В. П. - Киев : Вища школа, Изд-во при Киевском университете, 1983. - 53 с. : ил. - (Ученые вузов - производству). - Библиогр.: с. 49-52.
ББК 32.844.15-06
2062842-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2062842 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера