Автор: Гришин О. Ф.

Другие авторы: Карпович И. А.

Основное заглавие: Нанесение диэлектрических пленок методом высокочастотного плазменного распыления

Ответственность: М-во электронной пром-сти СССР

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1968

Место издания: Москва

Издательство: Институт "Электроника"

Объем: 40 с.

Cерия: Обзоры по электронной технике

Ключевые слова: Диэлектрики; Плазменное напыление;

ББК: 22.333