Глазков, Илья Михайлович. 
Обoрудoвание для прoизвoдства фoтoшаблoнoв и выпoлнения oпераций фoтoлитoграфии [Текст] / Глазков Илья Михайлович - Москва : Советское радио, 1975. - 73 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника). - Библиогр.: с. 69-72.



Автор: Глазков Илья Михайлович

Основное заглавие: Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1975

Место издания: Москва

Издательство: Советское радио

Объем: 73 с.

Cерия: Массовая библиотека инженера

Ключевые слова: Интегральные схемы; Производство; Фотолитография; Микроэлектронные схемы; Оборудование;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 69-72

1723831
Глазков, Илья Михайлович. 
Обoрудoвание для прoизвoдства фoтoшаблoнoв и выпoлнения oпераций фoтoлитoграфии [Текст] / Глазков Илья Михайлович - Москва : Советское радио, 1975. - 73 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника). - Библиогр.: с. 69-72.
ББК 32.844.15-06
1723831-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1723831 кх Доступна -