Вопросы радиационной технологии полупроводников [Текст] / Болотво В. В. [и др.] ; под ред. Смирнова Л. С. ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1980. - 294 с. : ил. - Библиогр. в конце гл.

Основное заглавие: Вопросы радиационной технологии полупроводников

Ответственность: Болотво В. В. [и др.] ; под ред. Смирнова Л. С. ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1980

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 294 с.

Ключевые слова: Полупроводники

ББК: 32.843.3я43

Библиография: Библиогр. в конце гл.