Автор: Боков Юрий Сергеевич

Основное заглавие: Фото-, электронно- и рентгенорезисты

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: М.

Издательство: Радио и связь

Объем: 136 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Фотолитография; Радиоэлектронная аппаратура; Микроэлектронные схемы; Электронные резисты; Рентгенорезисты; Фоторезисторы; Резисторы;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр.: с. 129-135 (155 назв.)