Основное заглавие: Атомная диффузия в полупроводниках

Ответственность: Шоу Д., Сволин Р., Брайс Дж. [и др.] ; под ред. Шоу Д. ; пер. с англ. Горина С. Н., Матвеева О. В., под ред. Воронина Г. Ф., Зломанова В. П.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1975

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 684 с.

Ключевые слова: Атомы; Диффузия; Полупроводники

ББК: 22.379.25

Библиография: Списки лит. в конце глав. - Имен. и предм. указ.: с. 676-682