Основное заглавие: Физические основы лазерной и пучковой технологии

Ответственность: Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ., АН СССР

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Физические основы лазерной микротехнологии

Год публикации: 1989

Место издания: М.

Издательство: ВИНИТИ

Объем: 160, [2] с.

Cерия: Итоги науки и техники

Ключевые слова: Лазерная микротехнология; Лазеры;

ББК: 32.86-53-01

Библиография: Библиогр.: с. 158-161