Основное заглавие: Физические основы лазерной и пучковой технологии
Ответственность: Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ., АН СССР
Физический носитель: Текст
Название части / раздела: Физические основы лазерной микротехнологии
Год публикации: 1989
Место издания: М.
Издательство: ВИНИТИ
Объем: 160, [2] с.
Серия: Итоги науки и техники
Ключевые слова: Лазерная микротехнология; Лазеры
ББК: 32.86-53-01
Библиография: Библиогр.: с. 158-161
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.