Основное заглавие: Физические основы микроэлектронных приборов

Сведения, относящ. к заглавию: сб. науч. тр.

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; редкол.: Шермергор Т. Д. (гл. ред.) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1987

Место издания: М.

Издательство: МИЭТ

Объем: 144 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные приборы; Микроэлектронные схемы

ББК: 32.844.15

Библиография: Библиогр. в конце ст.