Основное заглавие: Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике

Сведения, относящ. к заглавию: сб. науч. тр.

Ответственность: Воронеж. гос. ун-т им. Ленин. комсомола ; редкол.: Угай Я. А. (отв. ред.) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1989

Место издания: Воронеж.

Издательство: Изд-во Воронеж. ун-та

Объем: 196 с.

ISBN: 5-7455-0135-9

Ключевые слова: Полупроводники; Физико-химические свойства;

ББК: 32.843.3я43

Библиография: Библиогр. в конце ст.