Основное заглавие: Автоматизация производственных процессов в микроэлектронике

Сведения, относящ. к заглавию: сб. науч. тр.

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники ; редкол. : Блинов И. Г. (гл. ред.) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: М.

Издательство: МИЭТ

Объем: 140 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производственные процессы; Автоматизация;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.