Основное заглавие: Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: межвуз. темат. науч. сб.

Ответственность: Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калмыкова ; редкол.: Сеченов Д. А. [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1978

Место издания: Таганрог

Издательство: [ТРТИ]

Объем: 199 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.