Автор: Александрова Ариадна Тимофеевна

Основное заглавие: Оборудование электровакуумного производства

Сведения, относящ. к заглавию: [учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводниковое и электровакуум. машиностроение"]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1974

Место издания: М.

Издательство: Энергия

Объем: 384 с.

Ключевые слова: Электровакуумное производство;

ББК: 32.851-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 380-381. - Предм. указ.: с. 382-384