Александров, Леонид Наумович.
Кинетика образования и структуры твердых слоев [Текст] / Александров Леонид Наумович ; отв. ред. Ржанов А. В. ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1972. - 227 с. : ил. - Библиогр.: с. 212-225.

Автор: Александров Леонид Наумович

Основное заглавие: Кинетика образования и структуры твердых слоев

Ответственность: отв. ред. Ржанов А. В. ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1972

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сиб. отд-ние

Объем: 227 с.

Ключевые слова: Пленки; Физика; Полупроводниковые пленки; Кинетика; Структурообразование

ББК: 22.371.2

Библиография: Библиогр.: с. 212-225