Автор: Александров Леонид Наумович
Основное заглавие: Кинетика образования и структуры твердых слоев
Ответственность: отв. ред. Ржанов А. В. ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1972
Место издания: Новосибирск
Издательство: Наука, Сиб. отд-ние
Объем: 227 с.
Ключевые слова: Пленки; Физика; Полупроводниковые пленки; Кинетика; Структурообразование;
ББК: 22.371.2
Библиография: Библиогр.: с. 212-225
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1568671 | кх | Доступна | - |