Автор: Рощин Владимир Михайлович

Другие авторы: Силибин М. В.

Основное заглавие: Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: учеб. пособие

Физический носитель: Текст

Год публикации: 2010

Место издания: М.

Издательство: Бином. Лаб. знаний

Объем: 179, [1] с.

ISBN: 978-5-94774-913-7; 978-5-94774-910-6

Ключевые слова: Микроэлектроника; Оптоэлектроника; Наноэлектроника; Электронные материалы; Диэлектрические материалы; Углеродные материалы; Металлоорганические соединения;

ББК: 32.844.1я7+32.86я7

Библиография: Библиогр.: с. 180