Автор: Фреик Дмитрий Михайлович

Другие авторы: Галущак М. А.; Межиловская Л. И.

Основное заглавие: Физика и технология полупроводниковых пленок

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Львов

Издательство: Выща школа. Изд-во при Львов. ун-те

Объем: 149, [2] с.

ISBN: 5-11-000541-9

Ключевые слова: Физика; Полупроводниковые пленки; Пленки; Тонкие пленки;

ББК: 22.379.2

Библиография: Библиогр.: с. 143-150 (179 назв.)