Основное заглавие: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Сведения, относящ. к заглавию: в 2 т.

Ответственность: Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. ; под ред. Коркишко Ю. Н.

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Год публикации: 2010

Место издания: М.

Издательство: Бином. Лаб. знаний

Объем: 392 с.

ISBN: 978-5-9963-0335-9

Cерия: Нанотехнологии

Ключевые слова: Нанотехнология; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр.: с. 386-389