Автор: Литовченко Владимир Григорьевич

Другие авторы: Попов В. Г.

Основное заглавие: Физика поверхности и микроэлектроника

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1990

Место издания: М.

Издательство: Знание

Объем: 61, [2] с.

ISBN: 5-07-001176-6

Серия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Физика; Микроэлектроника; Поверхностные слои

ББК: 22.371.25+32.844.1