Основное заглавие: Ионная имплантация и лучевая технология

Ответственность: Вильямс Дж. С., Поут Дж. М., Гиббонс Дж. Ф. [и др.] ; под ред. Вильямса Дж. С., Поута Дж. М. ; пер. с англ. Евстигнеева А. М. ; под общ. ред. Снитко О. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1988

Место издания: Киев

Издательство: Наук. думка

Объем: 357, [1] с.

ISBN: 5-12-009334-5

Ключевые слова: Ионное легирование; Электронно-ионная технология;

ББК: 34.558

Библиография: Библиогр.: с. 327-353. - Предм. указ.: с. 354-358