Автор: Грищенко Анатолий Федорович
Основное заглавие: Ионное легирование в микроэлектронике
Сведения, относящ. к заглавию: [учеб. пособие для сред. ПТУ]
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1985
Место издания: М.
Издательство: Высш. шк.
Объем: 48 с.
Серия: Профессионально-техническое образование
Ключевые слова: Микроэлектроника; Микроэлектронные схемы; Полупроводники; Легирование; Ионное легирование
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр.: с. 47-48
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.