Автор: Майков Эдуард Витальевич

Основное заглавие: Исследование технологических процессов абразивной обработки кремния

Сведения, относящ. к заглавию: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук

Ответственность: Куйбышев. политехн. ин-т им. В. В. Куйбышева

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Куйбышев

Издательство: Б. и.

Объем: 28с.

Примечание: На правах рукоп.

Ключевые слова: Абразивная обработка; Кремний;

ББК: 34.637

Библиография: Библиогр.: с. 27-28