Основное заглавие: Технология СБИС

Сведения, относящ. к заглавию: В 2 кн.

Ответственность: Могэб. К., Фрейзер Д., Фичтнер У. и др.; Под ред. Зи С.; Пер. с англ. под ред. Чистякова Ю. Д.; Пер. Лейкина В. Н. и др.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1986

Место издания: М.

Издательство: Мир

Объем: 453с.

Ключевые слова: Интегральные микросхемы; Микроэлектронные схемы; СБИС;

ББК: 32.844.152

Библиография: Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 445-451